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NyeTorr 5350使NyeTorr?5300產(chǎn)品的EP裝載量增加了一倍。
NyeTorr 5350來自馬薩諸塞州費(fèi)爾黑文的Nye Lubricants,Inc.生產(chǎn)的獨(dú)特潤滑劑系列。它們是為滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境的嚴(yán)格要求而設(shè)計的。這些產(chǎn)品的開發(fā)考慮了幾個關(guān)鍵參數(shù):低除氣,高溫穩(wěn)定性,耐化學(xué)腐蝕性,磨損保護(hù)和清潔度。NyeTorr?配方中使用的原材料在分子水平上受到嚴(yán)格控制,以限制蒸氣壓,除氣和污染。Nye測試并認(rèn)證每批的蒸氣壓,以確保標(biāo)簽上的蒸氣壓與潤滑劑的實際蒸氣壓匹配。另外,所有NyeTorr?潤滑劑均經(jīng)過專有的“超濾過程”,該過程可去除微觀顆粒并均化附聚的增稠劑。NyeTorr?是Nye Lubricants,Inc.的注冊商標(biāo)。
Nye測試并證明每批NyeTorr 5350的真空穩(wěn)定性(E-595)。其他真空潤滑劑僅列出“典型特性”,并不保證標(biāo)簽上的蒸汽壓力與潤滑劑的實際蒸汽壓力匹配。而且通常不是。
此外,NyeTorr 5350經(jīng)歷了專有的“超濾過程”,該過程可去除微觀顆粒并使均化的增稠劑均質(zhì)。它包裝在100級(ISO 5級)微型環(huán)境中的超凈容器中。